서울대기술지주, 반도체 장비 벤처 '멀티스케일인스트루먼트'에 신규 투자

[이데일리 권아인 기자] 서울대학교기술지주가 반도체 미세 구조를 빠르고 정밀하게 측정하는 장비를 개발한 스타트업 멀티스케일인스트루먼트에 신규 투자했다.

차세대 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트. (사진=서울대기술지주)

서울대기술지주는 차세대 반도체 미세 구조 측정 장비를 개발하는 스타트업 멀티스케일인스트루먼트에 신규 투자를 단행했다고 28일 밝혔다. 이번 투자에는 한국투자파트너스와 아이디벤처스, 기술보증기금도 함께 참여했다.

멀티스케일인스트루먼트는 서울대 물리학부 제원호 교수 중심의 연구실 출신들이 모여 만든 반도체 측정 장비 전문 기업으로 지난 2023년 설립됐다.

최근 반도체 구조가 점차 미세화되며 기존 현미경만으로는 반도체의 미세한 결함을 확인하기 어렵다. 이 때문에 나노미터 수준의 미세한 바늘로 표면을 정밀 검사하는 원자현미경(AFM)이 필수 장비로 떠올랐지만, 측정 정밀도와 계측 속도를 동시에 확보하기 어렵다는 한계가 발생했다.

멀티스케일인스트루먼트는 이러한 한계의 극복을 위해 시계나 전자제품 등에 쓰이는 수정 진동자의 정밀한 진동 원리를 응용한 QTF 방식 원자현미경을 독자 개발했다. QTF 방식은 기존 장비와 달리 레이저나 복잡한 광학 부품이 필요하지 않다. 기존 장비에 비해 센서 헤드를 아주 작게 만들 수 있는 점이 특징이다. 이를 통해 장비 한 대에 여러 개의 센서 헤드를 장착해 기존 장비의 정밀도와 안정성을 유지하면서 측정 속도를 수십 배 이상 단축시킬 수 있다.

제원호 멀티스케일인스트루먼트 대표는 “이번 투자를 계기로 시제품 제작과 반도체 공정 장비 내장형 제품 개발에 박차를 가할 것”이라며 “국내외 주요 반도체 제조사와의 검증을 거쳐 차세대 반도체 생산 라인의 핵심 계측 장비로 자리매김하겠다”고 말했다.

한편 멀티스케일인스트루먼트는 중소벤처기업부의 딥테크 팁스(TIPS) 및 ‘초격차 스타트업 1000+’ 사업에 연이어 선정되며 연구개발 역량을 입증받은 바 있다.