과학기술정보통신부는 최기영 장관이 11일 나노종기원에 구축되는 반도체 소재·부품·장비 국산화 지원 테스트베드 현장을 찾아 진행상황을 점검하고, 테스트베드 활성화를 위한 간담회를 개최했다고 이날 밝혔다.
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과기부는 지난해 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심장비 10대 도입을 추진해왔고, 반도체 노광장비를 대기업 협조로 확보했다. 나머지 장비들도 올해 말까지 모두 구축을 완료할 계획이다. 또 장비 구축과 함께 시범서비스를 제공하고, 공정고도화를 통해 서비스의 질적 수준을 높일 계획이다.
현장점검 후 열린 간담회에는 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯해 한국반도체산업협회, 삼성, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 핵심 관계자들이 참석해 테스트베드 발전을 위한 기업 건의사항, 상생협력방안 등을 논의했다.
간담회에서는 최근 나노종기원 팹시설을 활용해 기술개발과 사업화에 성공한 △트루윈(적외선 열영상센서) △티엔에스(코로나19 진단키트) △템퍼스(비접촉식 적외선 체온계) △DCT(메모리반도체용 하드마스크) 등 기업들의 사례도 소개됐다.
최기영 장관은 “일본 수출규제와 코로나19로 인한 글로벌 공급망 재편 움직임의 ‘위기’가 산·학·연·관 역량결집의 기회가 되고 있다”며 “나노종기원의 테스트베드가 현장수요에 맞는 양질의 서비스 제공을 넘어 소재·부품 공급기업과 최종 수요기업의 적극적인 연계와 협력을 위한 플랫폼이 되도록 노력해 달라”고 당부했다.
나노종기원은 테스트베드의 기초 적용 단계 성능평가 결과를 수요기업의 양산평가에 연계하도록 반도체산업협회와의 협력을 강화할 계획이다. 특히 개방장비, 이용시간 확대, 인력확충 등을 통해 서비스 혁신을 추진할 계획이며, 코로나19와 같은 감염병 문제 해결을 위해 나노팹 장비와 공정기술을 기반으로 대학, 연구소, 병원, 기업 등과 협업해 나노바이오디바이스 개발도 추진할 예정이다.
