엘오티베큠, 반도체공정용 펌프 개발 등 251억 국책과제 선정

[이데일리 권효중 기자] 엘오티베큠(083310)은 반도체공정용 진공펌프와 디스플레이 반도체 공정용 초고진공 터보 분자펌프 개발 2건이 올해 신규 국책과제에 선정됐다고 7일 밝혔다.

회사 관계자는 “2건의 개발건이 총 251억원 규모의 국책과제에 선정된 것”이라며 “각각 소재부품기술사업과 기계산업 핵심기술 개발사업에 해당한다”고 설명했다.

‘반동체공정용 진공펌프 개발’ 건은 공정 부산물 이송 능력을 늘리고, 기존보다 약 10% 가량 운전 소비 전력을 저감시키는 드라이 펌프 개발을 목표로 한다. 총 사업비는 161억원 규모로 정부는 이중 약 100억원을 출연할 예정이다.

이어 ‘디스플레이 반도체 공정용 초고진공 터보 분자펌프 개발’ 건은 자기부상 베어링을 활용하는 디지털 제어 방식의 터보분자펌프 상품화를 목표로 한다. 총 사업비 약 90억원 중 정부출연금은 60억원 규모다.