이번에 출시된 제품에는 8935 고생산성 패턴 웨이퍼 검사 시스템, C205 광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 검사 시스템, Surfscan® SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사 시스템, 그리고 I-PAT® 인라인 결함 부품 평균 테스트 선별 솔루션이 포함된다.
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이번에 발표한 4종의 신제품 중 세 가지 검사장비는 자동차 산업의 더 큰 설계 노드 반도체 칩 제조를 위한 보완적인 결함 검출, 모니터링 및 제어 솔루션을 제공한다.
Surfscan SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사기는 DUV(심자외선, Deep Ultra Violet) 광학 및 고급 알고리즘을 통합하여 자동차 반도체 칩의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있는 공정 결함을 식별하고 공정 설비들이 최고 성능으로 작동하는데 필요한 감도와 속도를 갖추었다.
C205 패턴 웨이퍼 검사기는 R&D 및 양산 과정에서 광대역 입사광 및 NanoPoint™ 기술을 활용하여 중대 결함을 고감도로 찾아내 새로운 공정 및 소자의 최적화를 앞당긴다.
8935패턴 웨이퍼 검사기는 양산 과정에서 새로운 광학 기술과 DefectWise® 인공지능(AI) 솔루션을 활용하여 낮은 오류율로 다양한 중대 결함을 검출함으로써 최종 반도체 칩 품질에 영향을 줄 수 있는 이상 상태를 빠르고 정확하게 식별한다.
I-PAT는 KLA 검사 및 데이터 분석 시스템에서 실행되는 혁신적인 인라인 선별 솔루션이다. I-PAT는 중요 공정 단계에서 8935를 포함한 고속 8 시리즈 검사기 또는 Puma™ 레이저 스캐닝 검사기로 모든 웨이퍼에서 데이터를 수집하고 결함 특성을 추출하는 것으로 시작한다. 그 후 I-PAT는 SPOT™ 생산 플랫폼의 맞춤형 기계 학습 알고리즘과 Klarity® 결함 관리 시스템의 통계 분석 기능을 활용하여 이상 결함군을 식별해서 불량 반도체 칩을 공급망에서 제거한다.
오레스테 돈젤라 KLA EPC 총괄 부사장은 “이번에 소개한 신제품은 자동차 전자 제품 생태계의 여러 부분을 지원하는 우리의 검사, 계측, 데이터 분석 및 공정 시스템의 방대한 포트폴리오에 포함된다”며 “각 제품은 자동차용 전자 제품을 구성하는 반도체 칩, 소자, 인쇄회로기판 및 디스플레이에서 높은 수율과 신뢰성, 그리고 탁월한 성능을 보장하는데 핵심적인 역할을 한다”고 말했다.
