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예스티 관계자는 “이번 무효심판과 권리범위확인심판은 현재 진행 중인 특허소송 외에, 경쟁사가 추가적인 소송제기를 통해 특허분쟁을 확대 및 장기화하려는 의도를 사전에 차단하기 위한 것”이라며 “선제적 대응조치뿐 아니라 기존 특허소송도 공격적인 전략으로 분쟁을 조속히 종결짓겠다”고 말했다.
앞서 지난 9월 국내 한 반도체 장비 기업은 예스티를 상대로 고압 어닐링 장비에 대한 특허 소송을 제기한 바 있다. 이에 예스티 관계자는 “개발 단계부터 특허분쟁을 예상하고 충분한 검토를 거쳤기 때문에 특허분쟁에서 승소를 자신한다”라며 “고객사와의 상용화 테스트에 회사의 역량을 집중해 양산 시기를 최대한 앞당기겠다”라고 강조했다.