아큐텍반도체, 감광액 양면 도포장치 특허 취득

아큐텍반도체기술이 감광액 양면 도포장치로 특허를 취득했다고 18일 공시했다. 아큐텍반도체는 특허가 티(플렉스) 비지에이[T(flex)-BGA] 또는 마이크로(플렉스) 비지에이(씨에스피류)[μ(flex)-BGA(CSP)] 기판용 감광액 양면 도포장치에 관한 것으로 감광액 도포 및 베이킹 공정시 중복되는 공정을 단일화하여 작업 생산성을 증대시킬 수 있다고 설명했다.