티씨케이, 기판·전극제조 관련 특허권 취득

[이데일리 박원익 기자] 티씨케이(064760)는 실리콘 카바이드 기판 제조방법에 관한 특허를 취득했다고 10일 공시했다. 회사측은 "고순도 SiC 소재의 반도체용 전극이나 Ring 제조에 활용할 예정"이라고 밝혔다.

또한 정전척내의 전극을 용사코팅해 제조하는 방법에 대한 특허도 취득했다고 밝혔다.