中 DUV 노광장비 자체 생산설에 ASML 8%대 급락

[이데일리 김상윤 기자] 중국의 한 정부 지원 반도체 장비 업체가 반도체 제조에 쓰이는 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나오면서 27일(현지시간) 세계 최대 노광장비 업체 ASML홀딩(ASML Holding) 주가가 지난 6월 초 이후 최저 수준으로 급락하고 있다.

(사진=AFP)

미국 정보매체 디인포메이션은 이날 익명의 소식통을 인용해 상하이 소재 한 업체가 이머전(침지) 방식 DUV 노광장비 생산을 시작했다고 보도했다. 해당 매체는 업체명을 공개하지 않았지만, 이 회사가 상하이위량성 테크놀로지를 비롯한 다른 중국 기업들로부터 개발 인력을 대거 영입한 것으로 전해졌다고 보도했다.

이날 ASML 주가는 네덜란드 암스테르담 증시에서 장 초반 상승세를 보이다 보도 직후 최대 8.3% 급락했다. 여진은 유럽과 미국의 반도체 장비주로도 번졌다. ASM인터내셔널은 최대 7.3%, BE세미컨덕터인더스트리스는 9.9% 떨어졌고, 미국에서는 어플라이드머티어리얼즈가 6.7%, 램리서치가 7.9% 하락했다.

디인포메이션에 따르면 이 업체는 올해 DUV 장비 약 5대를 생산하고, 내년에는 약 20대까지 생산량을 늘리는 것을 목표로 하고 있다. 다만 생산은 아직 초기 단계에 머물러 있는 것으로 전해졌다.

ASML은 실리콘 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 새기는 노광장비를 만드는 업체다. DUV 장비는 최첨단 EUV(극자외선) 장비보다는 기술 수준이 낮지만 반도체 생산의 ‘워크호스(주력 장비)’로 불릴 만큼 핵심 설비다. 특히 이머전 DUV는 렌즈와 웨이퍼 사이에 초순수를 채워 빛의 굴절률을 높이는 방식으로, 기존 DUV보다 더 미세한 회로를 구현할 수 있다. EUV만큼의 성능은 아니지만 다중 노광(Multiple Patterning) 기술과 결합하면 첨단 반도체 생산에도 활용할 수 있어 중국이 국산화를 추진해온 핵심 장비로 꼽힌다.

ASML은 미국 주도의 대중 반도체 장비 수출 통제로 가장 정교한 EUV 장비의 중국 수출이 전면 금지돼 있으며, 최상급 이머전 DUV 장비 판매도 제한받고 있다. 중국은 지난 2분기 기준 ASML의 3대 시장 중 하나지만, 실제 수출되는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품들이다.

지난해 파이낸셜타임스(FT) 보도에 따르면 중국의 대표 파운드리 SMIC는 상하이 스타트업 위량성이 개발한 DUV 장비를 시험한 바 있다. 이번 보도가 사실로 확인될 경우 미국의 첨단 반도체 장비 수출 규제에도 중국의 반도체 장비 국산화가 예상보다 빠르게 진전되고 있다는 신호로 해석될 수 있다. 시장은 중국산 이머전 DUV 장비의 성능과 양산 능력이 실제 어느 수준까지 확보될지, 또 이것이 ASML을 비롯한 글로벌 반도체 장비업체들의 대중국 매출과 시장 지위에 어떤 영향을 미칠지 주목하고 있다.